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潔凈室的檢測--被測“量”的均勻性
2020-03-23 瀏覽次數(shù)：508
1、均勻性的概念
均勻性是體現(xiàn)不同部位量值不相同程度的量，對于潔凈室有風(fēng)速均勻性、氣壓均勻性、溫度均勻性、潔凈度均勻性等。
2、均勻性的測定方法
使用高精確度的測量儀器，均布測量點，測得一系列數(shù)值。測量次數(shù)盡可能多一點。
3、均勻性的表示
一般用均勻性的標(biāo)準(zhǔn)偏差定量的表示均勻性。均勻性的標(biāo)準(zhǔn)偏差（
）按下式計算：
式中，n為測量次數(shù)
xi為第i次的測得值，i=1，2，3，…，n
為測得值的算術(shù)平均值，
（1）算術(shù)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差（
）。算術(shù)平均值的標(biāo)準(zhǔn)偏差按下式計算：
（2）均勻性的置信度。如果均勻性的測得值是正態(tài)分布，則有68%的測得值與測量次數(shù)無窮大時的平均值的偏差不超過
；同時，有68%的n次測得值的平均值與測量次數(shù)無窮大時的平均值的偏差不超過
。
（3）擴展均勻性。如果均勻性的測得值是正態(tài)分布，則有95%的測得值與測量次數(shù)無窮大時的平均值的偏差不超過
；同時，有95%的n次測得值的平均值與測量次數(shù)無窮大時的平均值的偏差不超過
。
如果均勻性的測得值是正態(tài)分布，則有99%的測得值與測量次數(shù)無窮大時的平均值的偏差不超過
；同時，有99%的n次測得值的平均值與測量次數(shù)無窮大時的平均值的偏差不超過
。
4、均勻性與重復(fù)性的關(guān)系
測量均勻性時，重復(fù)性也包含在其中。所以，測量均勻性的時候，希望重復(fù)性的量值可以忽略不計。如果測量均勻性時，重復(fù)性不能忽略不計，就必須減去重復(fù)性。一般情況如果測得量的標(biāo)準(zhǔn)偏差為η，均勻性的標(biāo)準(zhǔn)偏差（）按下式計算：
